プラズマコンセプト東京では,マルチガスプラズマおよびダメージフリープラズマを中心としたオリジナルな大気圧プラズマ源の製造・販売,プラズマ照射実験受託,各種プラズマ源の特性評価・解析受託,プラズマ源や電源等の特注品開発を行っています。

 ◆ 高純度・高温マルチガスプラズマ

東京工業大学で世界で初めて開発された,大気圧高純度高温マルチガスプラズマ源です。
 約1500℃〜8000℃の高温プラズマを生成できます。従来の一般的な大気圧熱プラズマ源ではアルゴンしか使用できませんでしたが,このプラズマ源では
アルゴンのほか,ヘリウム,窒素,酸素,二酸化炭素,亜酸化窒素,空気など様々なガスをプラズマ化する事ができます。電極を使用しないため,極めて高純度なプラズマを生成できます。また,液体や粉体の直接導入も可能です。

 ◆ リニア型ダメージフリープラズマ

放電損傷が生じず,かつ低温のダメージフリープラズマ源です。
 特殊な電極配置や電源特性によりプラズマ源の外部に電界が漏れないため,生体や金属を近づけても雷放電が生じず,放電損傷を与えません。また,室温から100℃程度の低温プラズマを生成できます。このため,金属,生体,低融点材料への高密度プラズマ照射が実現できます。
 ガス種やプラズマ生成条件により,表面洗浄,親水化処理(ぬれ性改善,接着性改善),殺菌,CVDのほか,セラミックスやガラスの高速低温コーティング(特許申請中)などに使用できます。
 
幅1メートル以上の大型プラズマ源も設計可能です。

 ◆ ジェット型ダメージフリーマルチガスプラズマ

ダメージフリーなので,金属,半導体,繊維,紙,回路基板,生体,低融点材料等,あらゆる物質への高密度プラズマ照射が実現できます。従来の低温プラズマの多くはヘリウム,窒素,空気などしか使用できませんでしたが,このプラズマ源ではほとんど全てのガスで安定に大気圧プラズマを生成可能です。

さらに,CVDの原料となる有機系ガス等の混合も可能ですので,所望な組成のガスでプラズマを生成する事ができます。このため,表面洗浄,親水化・撥水化,接着性改善,殺菌等の単純表面処理だけでなく,コーティングやCVDなどの高度な表面処理に極めて有効なツールになります。

 ◆ 超高出力・超小型マルチガスプラズマ

直径200ミクロンから数ミリのマルチガスマイクロプラズマ源です。
 活性種を使用するためのジェット型と,主に光を使用するための高輝度型があります。
微小領域の表面洗浄,親水化処理(ぬれ性改善,接着性改善),コーティング,殺菌などのほか,微量元素分析,光源,イオン源などに応用できます。

 ◆ コロナ方式マルチガスプラズマ

パール工業株式会社(大阪市住之江区)と共同で開発した,新しい大気圧コロナ装置です。
 空気など使用ガスに制限のある従来のコロナ装置は全ての材料の接着性を向上できるわけではなく,高密度ポリエチレン(HDPE)のように全く効果の得られないものもありました。本装置では,
従来装置では不可能だったものの接着や,従来よりも高速な処理を実現します。

 ◆ プラズマ照射・処理実験

バリヤ放電,コロナ放電,電極放電,高周波放電,パルス放電,直流放電など,各種のプラズマ装置が開発・市販されていますが,どの放電形態やどんな実験条件が御社のアプリケーションに有効なのかを知るのは容易ではありません。弊社では製品ラインナップの他,各種放電形式の大気圧プラズマ装置を用いて,おそらく世界で最も多彩な条件,様々なガス・放電形式・実験条件での照射,処理実験を承ります。御社の大気圧プラズマのフィージビリティスタディ(将来を見据えた特許戦略等にご利用下さい。

 ・処理内容:各種表面の親水化・撥水化・クリーニング・
   コーティング,ナノ粒子製造,物質分解,静電気除去など
 ・処理対象物:金属,半導体,プラスチック,紙,繊維,ガラス,
   回路基板,生体など,あらゆる物質
 ・気圧:低気圧〜大気圧
 ・ガス種:アルゴン,ヘリウム,窒素,酸素,空気,二酸化炭素など
   および,それらの混合ガス
 ・混合物:各種ガス,各種液体,粉体
 ・放電形態:電極/無電極,バリヤ,アーク,コロナほか
 ・放電周波数:直流〜40.68MHz,高電圧パルス
 ・プラズマサイズ:約200ミクロン〜1メートル
 ・電力:〜1500W(高周波),〜50kW(パルス)
 ・プラズマ温度:室温〜約8000℃(ガス温度)


 ◆ プラズマ源の特性評価

プラズマを有効に活用するためにはプラズマの特性を知る必要がありますが,プラズマの特性評価は容易ではありません。弊社では主に分光手法を用いたプラズマ源の特性評価をお受けします。専門技術者の派遣による出張計測も承ります。
 ・測定パラメータ例
   特定粒子の発光強度(空間分布,時間変化)
   ガス温度,電子温度,特定粒子の励起温度
   電子密度

分光測定結果などの分析や評価のアシスタントも承ります。

 ◆ 特注品の設計・開発

大気圧を中心としたプラズマ源の設計・開発を受託します。
 ・特殊形状プラズマ源(形状・大きさ)
 ・特殊ガス用プラズマ源
 ・特殊な特性のプラズマ源(温度,密度,流速など)

高電圧・高周波関連の装置や部品の設計・開発を受託します。
 ・高電圧・高周波フィードスルー
 ・特殊高電圧電源
 ・特殊高周波電源 など

 詳しくは電子メール等でご相談下さい。

 ◆ プラズマ関連コンサルティング

プラズマの専門技術者がプラズマ源開発・設計,他社製を含む機種選定,計測,応用などのお手伝いをします。プラズマ源等を販売する同業他社様への技術指導・コンサルティングもお受けしています。

 詳しくは電子メール等でご相談下さい。